Piezorezistivni akcelerometar

Srž piezorezistivnog akcelerometra je piezorezistivni učinak. Koristi mikrostrojno obrađenu konzolnu gredu ili probnu masu izrađenu od poluvodičkih materijala kao što je silicij. Kada akcelerometar doživi ubrzanje, inercijska sila uzrokuje deformaciju probne mase. Ova deformacija rasteže ili komprimira piezootporni materijal pričvršćen na gredu, što dovodi do promjene u njegovom električnom otporu. Mjerenjem ove promjene otpora (obično uporabom kruga Wheatstoneovog mosta), veličina ubrzanja može se točno izračunati.

Zbog svog jedinstvenog principa rada, piezorezistivni akcelerometri nude visoku osjetljivost, širok raspon mjerenja, robusnu strukturu i visok-frekvencijski odziv. Međutim, općenito imaju veću potrošnju energije i osjetljivi su na temperaturu (zahtijeva temperaturnu kompenzaciju).

Na temelju ovih karakteristika, njihove su primjene prvenstveno usmjerene na polja koja zahtijevaju mjerenje visoke-frekvencije, visokog-utjecaja (visoki-g), dinamičkih događaja.